1.1 簡介

   采用工業(yè)相機配合視覺軟件實現(xiàn)MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動對位。改造后自動控制系統(tǒng)與機臺原有操控系統(tǒng)兼容，可自由切換。系統(tǒng)可接入車間生產(chǎn)管理平臺，自動下載工藝參數(shù)，上傳機臺動作數(shù)據(jù)。改造方便，性價比高。

  1.2 功能特點

  1) 實現(xiàn)自動獲取圖像，按照設(shè)定條件進行十字標識的位置獲取；

  2) 系統(tǒng)發(fā)出控制脈沖，模擬人手操作調(diào)節(jié)控制片平臺或版平臺移動；

  3) 對位精度在1um以內(nèi)，20S內(nèi)完成自動對位過程；

  4) 模擬曝光鍵、微調(diào)鍵功能；

  5) 人工調(diào)節(jié)操縱桿對位和自動視像對位功能切換；

  6) 實現(xiàn)智能自動對位規(guī)則、數(shù)據(jù)、圖片截圖保存；

  7) 記錄自動曝光片數(shù)、花籃位置、光刻版統(tǒng)計、樣片提醒功能；

  8) 可以根據(jù)設(shè)定的曝光片數(shù)加工，數(shù)量到達后發(fā)出報警并自動切換到人工對位。人工曝光完成后，再自動切換回自動對位曝光。

  9) 支持掃碼槍掃碼輸入，自動定位視像存儲和查詢，數(shù)據(jù)可上傳到MES系統(tǒng)，可以讀取MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)實現(xiàn)自動錄單和光刻版號和批號的對比功能，識別加工設(shè)備、光刻版管理功能。

  10) 模擬設(shè)備上數(shù)字小鍵盤功能。（實現(xiàn)設(shè)定曝光量，調(diào)節(jié)機偏功能）。

  11) 報警功能：25S內(nèi)無法完成對位報警提示，大于75分貝語音提醒。

  12) 具有分級管理權(quán)限，使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。

  13) 具有緊急停止中斷功能，具備緊急按鈕。

  14) 更換品種后對準識別圖形自動更換。

  15) 加工批次連接MES，建立文件夾自動儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存，方便查詢。

  16）實現(xiàn)250的機偏調(diào)整功能。

  17）具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。